​蒸發鍍膜可以采用哪幾種蒸發源
？

1、電阻蒸發鍍：電阻蒸發源用於蒸發低熔點材料，如金、銀bai
、硫化鋅
、氟化鎂
、三氧化二鉻等。電阻蒸發源一般采用鎢、鉬
、鉭製作。

2、電子束蒸發鍍：利(li)用(yong)電(dian)子(zi)束(shu)加(jia)熱(re)使(shi)膜(mo)材(cai)汽(qi)化(hua)蒸(zheng)發(fa)後(hou)，凝(ning)結(jie)在(zai)基(ji)片(pian)表(biao)麵(mian)成(cheng)膜(mo)是(shi)真(zhen)空(kong)蒸(zheng)鍍(du)技(ji)術(shu)中(zhong)一(yi)種(zhong)重(zhong)要(yao)的(de)加(jia)熱(re)方(fang)法(fa)。這(zhe)種(zhong)裝(zhuang)置(zhi)的(de)種(zhong)類(lei)很(hen)多(duo)。隨(sui)著(zhe)薄(bo)膜(mo)技(ji)術(shu)的(de)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)，不(bu)但(dan)對(dui)膜(mo)的(de)種(zhong)類(lei)要(yao)求(qiu)繁(fan)多(duo)，而(er)且對膜的質量要求更加嚴格。電阻蒸發鍍已不能滿足蒸鍍某些金屬和非金屬的需要。電子束熱源能獲得遠比電阻熱源更大的能量密度
，數值可達到104-109w/cm2，因此可以將膜材加熱至3000-6000c。這就為蒸發難熔金屬和非金屬材料如鎢、鉬

、鍺
、SiO2、AI2O3dengtigonglejiaohaodereyuan。erqieyouyubeizhengdudecailiaoshifangzaishuilengganguonei，yinerkebimianrongqicailiaodezhengfajirongqicailiaoyumocaizhijiandefanying

，zheduitigaomodechundushijiweizhongyaode。lingwai，reliangkezhijiejiadaomocaibiaomianshang，yincirexiaolvgao
，rechuandaoherefushesunshishao。

3、高頻感應加熱蒸發鍍：利用感應加熱原理把金屬加熱到蒸發溫度。將裝有膜層材料的坩堝放在螺旋線圈的中央（非接觸）
，在線圈中通以高頻電流，可以使金屬膜層材料產生電流將自身加熱升溫，直至蒸發。

感應加熱蒸發源的特點：1）蒸發速率大 2）蒸發源溫度均勻穩定，不易產生鋁滴飛濺現象 3）蒸發源一次裝料
，無須送絲
，溫度控製比較容易，操作簡單 4）對膜材純度要求略寬些。

4、電弧加熱蒸發鍍：與(yu)電(dian)子(zi)束(shu)加(jia)熱(re)方(fang)式(shi)相(xiang)類(lei)似(si)的(de)一(yi)種(zhong)加(jia)熱(re)方(fang)式(shi)是(shi)電(dian)弧(hu)放(fang)電(dian)加(jia)熱(re)法(fa)。它(ta)也(ye)具(ju)有(you)可(ke)以(yi)避(bi)免(mian)電(dian)阻(zu)加(jia)熱(re)材(cai)料(liao)或(huo)坩(gan)堝(guo)材(cai)料(liao)的(de)汙(wu)染(ran)，加(jia)熱(re)溫(wen)度(du)較(jiao)高(gao)的(de)特(te)點(dian)，特(te)別(bie)適(shi)用(yong) 於熔點高
，同時具有一定導電性的難熔金屬、石墨等的蒸發。同時
，這一方法所用的設備比電子束加熱裝置簡單
，因而是一種較為廉價的蒸發裝置。